Áttekintés: Mikromegmunkálási és litográfiai szolgáltatások / Overview: Microfabrication and lithography services
Szolgáltatás kategóriája / Service category | Mikromegmunkálási és litográfiai szolgáltatások |
|---|
Leírás
Tisztatéri környezetünkben nagy tisztaságú, precíz mikro- és nanofabrikációs folyamatok érhetők el. A szolgáltatás tartalmazza a fotolitográfiát, vékonyréteg-leválasztást (PVD, CVD), száraz és nedves maratást, felületfunkcionalizálást, mikroszerkezet-mintázást és csomagolási lépéseket. Rugalmasan támogatjuk az egyedi chip prototípusok fejlesztését, beleértve a teljes folyamatlánc tervezését és validálását is.
Description
In our cleanroom environment, high-purity, precise micro- and nanofabrication processes are available. The service includes photolithography, thin film deposition (PVD, CVD), dry and wet etching, surface functionalization, microstructure patterning, and packaging steps. We flexibly support the development of custom chip prototypes, including the design and validation of the entire process chain.