[CER-9] Magashőmérsékletű folyamatok / High-temperature processes
Konzorciumi Partner / Consortium Partner | [CER] HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet |
|---|---|
Szolgáltatás kategóriája / Service category | |
Rövid leírás / Short description | Hőkezelések, RTA - gyors hőkezelés, diffúzió, oxidáció Heat treatments, RTA - rapid thermal anealing, diffusion, oxidation |
Várható szállítási idő / Typical lead time | Változó, megrendeléskor számoljuk / Variable, calculated on ordering |
Irányár / Approx. cost | €110-375 szeletenként / per wafer |
Kép / Image |  |
Leírás
A Magashőmérsékletű folyamatok szolgáltatás keretében a HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont hőkezelési és hőalapú technológiai lépéseket biztosít. A szolgáltatás magában foglalhatja az anyagok hevítését, kiégetését, diffúzióját vagy kristályosítását szabályozott atmoszférában. A módszer alkalmas anyagtulajdonságok módosítására és szerkezeti stabilizálásra. A hőkezelés fontos szerepet játszik félvezető technológiákban és kerámiafeldolgozásban. A szolgáltatás támogatja vékonyrétegek minőségének javítását és belső feszültségek csökkentését. Tipikus alkalmazásai az anyagtudomány és mikroelektronika.
Description
Within the framework of the High-Temperature Processes service, the HUN-REN Energy Science Research Center provides heat treatment and heat-based technological steps. The service may include heating, burnout, diffusion, or crystallization of materials in a controlled atmosphere. The method is suitable for modifying material properties and structural stabilization. Heat treatment plays an important role in semiconductor technologies and ceramic processing. The service supports improving thin film quality and reducing internal stresses. Typical applications are in materials science and microelectronics.