[CER-16] SEM + FIB + EDX / SEM + FIB + EDX
Konzorciumi Partner / Consortium Partner | [CER] HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet |
|---|---|
Szolgáltatás kategóriája / Service category | Áttekintés: Mikroszkópos vizsgálatok / Overview: Microscopy analysis |
Rövid leírás / Short description | Fókuszált ionnyalábos maratás utáni mintafeldolgozás után energiaveszteség-eloszlásos röntgenspektroszkópiával végzett elemanalízissel kiegészített pásztázó elektronmikroszkópos képalkotás (elektronikus képek szállítva) Scanning electron microscopy imaging with element analysis by Energy dispersive X-ray spectroscopy after sample processing by Focused Ion Beam milling (electronic pictures delivered) |
Várható szállítási idő / Typical lead time | Változó, megrendeléskor számoljuk / Variable, calculated on ordering |
Irányár / Approx. cost | €320 óránként / per hour |
Kép / Image |  |
Leírás
A SEM + FIB + EDX szolgáltatás keretében a HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézete integrált elektronmikroszkópos vizsgálatot biztosít. A pásztázó elektronmikroszkóp (SEM) nagyfelbontású felületi képalkotást tesz lehetővé, míg a fókuszált ionnyaláb (FIB) lokális anyageltávolításra és keresztmetszet-készítésre használható. Az EDX egység elemi összetétel meghatározását biztosítja röntgensugárzás alapján. A kombinált rendszer lehetővé teszi komplex mikro- és nanostruktúrák szerkezeti és kémiai elemzését. A szolgáltatás különösen alkalmas hibaanalízisre, rétegvizsgálatra és mikroelektronikai eszközök feltárására. Tipikus alkalmazási területei a félvezetőipar, anyagtudomány és MEMS fejlesztés.
Description
Within the framework of the SEM + FIB + EDX service, the Institute of Technical Physics and Materials Science at the HUN-REN Energy Science Research Center provides integrated electron microscopy examination. The scanning electron microscope (SEM) enables high-resolution surface imaging, while the focused ion beam (FIB) is used for local material removal and cross-section preparation. The EDX unit provides elemental composition determination based on X-ray radiation. The combined system allows complex structural and chemical analysis of micro- and nanostructures. The service is particularly suitable for failure analysis, layer inspection, and the exploration of microelectronic devices. Typical application areas include the semiconductor industry, materials science, and MEMS development.